[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÇÑ¿¹ÁÖ ±âÀÚ] '2030³â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼¼°è 1À§'¸¦ ³ë¸®´Â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ TSMC¸¦ µû¶óÀâ±â À§ÇÑ ¶Ç ÇϳªÀÇ ½ÂºÎ¼ö¸¦ ´øÁ³´Ù. ¹Ù·Î 1.4³ª³ë¹ÌÅÍ(nm¡¤1³ª³ë¹ÌÅÍ´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m) °øÁ¤ÀÌ´Ù.
Åë»ó 7³ª³ë ÀÌÇÏ °øÁ¤À» °¡¸®Å°´Â 'Ãʹ̼¼°øÁ¤'ÀÇ ¼ºÆд ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ Àåºñ ¼ö±Þ¿¡ ´Þ·ÁÀÖ´Ù°í Çصµ °ú¾ðÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. EUV´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ¾ÆÁÖ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ ±×¸± ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇØÁÖ´Â ÀåºñÀε¥, ¹Ì¼¼È¸·Î´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼º´É°ú Á÷°áµÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. »ï¼ºÀÇ 1.4³ª³ë ¹ß¾ð¿¡ ³×´ú¶õµå Àåºñ ȸ»çÀÎ ASML¿¡ °ü½ÉÀÌ ½ò¸®´Â ÀÌÀ¯µµ ÀÌ°ÍÀÌ´Ù. Ãʹ̼¼°øÁ¤À» ÇÏ·Á¸é EUV¸¦ µ¶Á¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Â ASML°ú °Å·¡¸¦ È®´ëÇØ EUV Àåºñ¸¦ ÇÑ ´ë¶óµµ ´õ È®º¸ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
5ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹Ì±¹ ½Ç¸®Äܹ븮¿¡¼ '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2022'¸¦ °³ÃÖÇÏ°í 2025³â±îÁö 2³ª³ë, 2027³â¿¡´Â 1.4³ª³ë °øÁ¤ÀÇ ¾ç»ê üÁ¦¸¦ µµÀÔÇÏ°Ú´Ù´Â ·Îµå¸ÊÀ» °ø°³Çß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ 1.4³ª³ë ¾ç»ê °èȹÀ» °ø½ÄÀûÀ¸·Î ¹àÈù °ÍÀº À̹øÀÌ Ã³À½ÀÌ´Ù. °èȹ´ë·Î¶ó¸é 3³ª³ë¿¡ ÀÌ¾î ¶Ç ÇÑ ¹ø °æÀïÀÚÀÎ ´ë¸¸ TSMC¸¦ Á¦Ä¡°í ÃÖ¼±´Ü °øÁ¤ ±â¼ú·ÂÀ» °®°Ô µÇ´Â °ÍÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚÀÇ 1.4³ª³ë ¼±¾ð¿¡ µû¶ó, TSMC¿Í »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹Ì·¡ 1.4³ª³ë ¿µ¿ª¿¡¼ Ä¡¿ÇÏ°Ô ¸ÂºÙ°Ô µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù. TSMC´Â ¿ÃÇØ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î 3³ª³ë °øÁ¤ °³¹ßÁøÀ» 1.4³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß·Î ÀüȯÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ¿©±â¿¡ ¿ÃÇØ 440¾ï´Þ·¯¸¦ Ãß°¡ ÅõÀÔÇØ 1¡¤2³ª³ë ±â¼ú °³¹ß¿¡ ¿À» ¿Ã¸®°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ Ãʹ̼¼°øÁ¤ °æÀïÀ» ÇÏ´Â ÀÌÀ¯´Â °£´ÜÈ÷ ¸»ÇØ ÀÛÀ¸¸é¼µµ ¼º´ÉÀÌ ÁÁÀº ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µé±â À§Çؼ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µé¾î ÆǸÅÇÏ´Â ±â¾÷ ÀÔÀå¿¡¼µµ ÇϳªÀÇ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ´õ ¸¹Àº ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» ¸¸µé¾î¾ß Á¦Ç° °æÀï·ÂÀ» À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶Ç ¹ÝµµÃ¼¸¦ ±¸¸ÅÇÏ´Â °í°´»çµéÀº Å©±â°¡ ÀÛÀ¸¸é¼µµ Àü·Â ¼Ò¸ð°¡ ÀÛ°í ´õ¿í ºü¸£°Ô Á¤º¸Ã³¸®°¡ °¡´ÉÇÑ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¿øÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹®Á¦´Â »ý»êµÇ´Â EUV Àåºñ ¼ö°¡ ±ØÈ÷ Á¦ÇÑÀûÀ̶ó´Â Á¡ÀÌ´Ù. ASMLÀº ¸Å³â 40~50´ë Á¤µµ¸¸ Àåºñ¸¦ ¸¸µé°í Àִµ¥, Áö³ÇØ¿¡¸¸ ÃÑ 42´ë¸¦ ¸¸µé¾î ´ë¸¸À¸·Î 44%, Çѱ¹À¸·Î 35%¸¦ ÆǸÅÇß´Ù. EUV Àåºñ¸¦ ¸î ´ë³ª Ãß°¡·Î È®º¸ÇÏ´ÂÁö°¡ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ ÀÔÀå¿¡¼´Â ±â¼ú·Â ¹× »ý»ê·ÂÀ¸·Î Á÷°áµÈ´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ASMLÀÌ '½´ÆÛ À»(ëà)'À̶ó´Â º°¸íÀ» °®°Ô µÈ ÀÌÀ¯µµ ¿©±â¿¡ ÀÖ´Ù. Åë»óÀûÀ¸·Î Àåºñ¾÷ü°¡ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ü¿¡ Àåºñ¸¦ ³³Ç°ÇØ¾ß ÇÏÁö¸¸, Á¦Á¶¾÷üµéÀÌ EUV Àåºñ¸¦ ÇÑ ´ë¶óµµ ´õ È®º¸Çϱâ À§ÇØ °æÀïÀ» ¹úÀÌ°í À־Ù. ¿þÀÌÀúÀÚ TSMC ÃÖ°í°æ¿µÀÚ(CEO), Æê °Ö½Ì¾î ÀÎÅÚ CEO µîÀÌ Á÷Á¢ ³×´ú¶õµå·Î ³¯¾Æ°¡ Àåºñ¸¦ ´Þ¶ó°í À¾¼ÒÇÒ Á¤µµ´Ù. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåµµ Áö³ 6¿ù ³×´ú¶õµå¸¦ ã¾Æ ³»³â ÀÌÈÄ Ãâ½Ã ¿¹Á¤ÀÎ ÇÏÀÌ´º¸Þ¸® EUV¿Í ¿ÃÇØ »ý»êµÇ´Â ³ë±¤Àåºñ µµÀÔ °è¾àÀ» ¸Î°í µ¹¾Æ¿Â ¹Ù ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀ» ÇʵηΠ2030³â±îÁö ÆÄ¿îµå¸®¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß 1À§ ´Þ¼ºÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ¾î, EUV Àåºñ¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇÑ ±â¼ú ÃÊ°ÝÂ÷°¡ ¹«¾ùº¸´Ù Áß¿äÇÏ´Ù. ÇöÀç »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº 20% ÀÌÇÏ·Î Á¤Ã¼µÅ ÀÖ´Ù. Á¡À¯À²ÀÌ 50%¸¦ ³Ñ´Â TSMC ¶§¹®ÀÌ´Ù. ÆÄ¿îµå¸®´Â Á¤ÇØÁø ³³±â ÀÏÁ¤¿¡ ¾à¼ÓµÈ Ç°ÁúÀÇ ¹ÝµµÃ¼¸¦ Â÷Áú ¾øÀÌ °ø±ÞÇÏ´Â ½Å·Ú°¡ Áß¿äÇÑ ¸¸Å, ÈÄ¹ß ÁÖÀÚÀÎ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ´Ü±â°£¿¡ TSMC¸¦ µû¶óÀâ±â´Â ½±Áö ¾Ê´Ù. °á±¹ Ãʹ̼¼°øÁ¤¿¡¼ ¾Õ¼ ³ª°¡¾ß¸¸ TSMCÀÇ ±âÁ¸ °í°´µéÀ» »©¾Ñ¾Æ ¿Ã ¼ö ÀÖ´Â ¼ÀÀÌ´Ù. ÇöÀç TSMC´Â EUV Àåºñ¸¦ 100´ë ³Ñ°Ô º¸À¯ÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ¹Ý¸é »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¾ÆÁ÷ ¼ö½Ê ´ë¿¡ ºÒ°úÇÑ ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù.
½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼»Ó ¾Æ´Ï¶ó ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼µµ EUV Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÏ°í ÀÖ¾î ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÇ ASML »ç¶ûÀº ´õ¿í ½É鵃 ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. D·¥¿¡¼µµ °í¼º´É¡¤ÃʼÒÇü ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¿ä±¸°¡ ¸¹¾ÆÁö¸é¼ ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Â EUV ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇØÁ³±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ÇöÀç D·¥ »ý»ê¿¡ EUV ±â¼úÀ» µµÀÔÇÑ °÷Àº »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº¿Í ¹Ì±¹ ¸¶ÀÌÅ©·Ð µîÀÌ ÀÖ´Ù. ÇÑ¿¹ÁÖ ±âÀÚ dpwngks@asiae.co.kr
|