
±è ºÎ»çÀåÀº 2ÀÏ ÀÚ»ç ´º½º·ë ÀÎÅͺ並 ÅëÇØ "TSV °øÁ¤ ±â¼ú ¾ÈÁ¤È¿Í ÀÎÇÁ¶ó ±¸Ãà¿¡ ÁßÁ¡À» µÎ°í ¿¬±¸°³¹ß(R&D)¿¡ ´õ¿í ¸ÅÁøÇß°í, ¾ç»ê Ç°Áú °³¼± È°µ¿µµ ÁøÇàÇØ ¸¶Ä§³» HBM ¾ç»ê¿¡ ¼º°øÇÏ°Ô µÆ´Ù"¸ç ÀÌ°°ÀÌ ¹àÇû´Ù.
¾Õ¼ SKÇÏÀ̴нº´Â Áö³ 2009³â °í¼º´É ¸Þ¸ð¸® ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸°í TSV ±â¼ú¿¡ ÁÖ¸ñ, HBM °³¹ß¿¡ ¾à 4³âÀ» °øµéÀÎ °á°ú 2013³â 12¿ù ù HBMÀ» ¼¼»ó¿¡ ³»³õ¾Ò´Ù.
TSV´Â Ĩ¿¡ ¹Ì¼¼ÇÑ ±¸¸ÛÀ» ¶Õ¾î »ó·ÇÏ´Ü Ä¨À» Àü±ØÀ¸·Î ¿¬°áÇÏ°í ÀûÃþÇØ °í¿ë·®, °í´ë¿ªÆøÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â ±â¼úÀÌ´Ù.
1992³â SKÇÏÀ̴нº¿¡ ÀÔ»çÇÑ ±è ºÎ»çÀåÀº HBMÀÇ ÇÙ½ÉÀÎ TSV ¿ä¼Ò±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ´Â µ¥ Å©°Ô ±â¿©ÇØ HBM °øÁ¤ÀÇ ±âƲÀ» ¸¶·ÃÇÑ °ÍÀ¸·Î Æò°¡¹Þ´Â´Ù.
¶Ç 10³ª³ë±Þ 5¼¼´ë(1b) D·¥ ¹Ì¼¼ °øÁ¤¿¡ ±ØÀڿܼ±(EUV) Àåºñ¸¦ µµÀÔÇØ ¾÷°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ »ý»ê¼º°ú ¿ø°¡ °æÀï·ÂÀ» È®º¸Çß°í À̸¦ 6¼¼´ë(1c) D·¥¿¡µµ È®´ë Àû¿ëÇß´Ù.
¾Æ¿ï·¯ HKMG ±â¼úÀ» D·¥¿¡ Àû¿ëÇØ ¸Þ¸ð¸® ¼º´É·È¿À²À» ³ôÀÌ´Â µî ¼±´Ü±â¼ú¿¡¼ ´«¿¡ ¶ç´Â ¼º°ú¸¦ ³Â´Ù.
±è ºÎ»çÀåÀº "1b D·¥ ±â¹ÝÀÇ HBM3E(5¼¼´ë)´Â ¼±´Ü±â¼ú°ú TSV ³ëÇϿ츦 Áý´ë¼ºÇÑ °á°ú¹°"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
±è ºÎ»çÀåÀº ÀÌ°°Àº °ø·Î¸¦ ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ Áö³´Þ 27ÀÏ ¼¿ï »ï¼ºµ¿ ÄÚ¿¢½º¿¡¼ ¿¸° '2024 »ê¾÷±â¼ú R&D Á¾ÇÕ´ëÀü'¿¡¼ »ê¾÷±â¼úÁøÈï(±â¼ú°³¹ß ºÎ¹®) À¯°øÀÚ·Î ¼±Á¤µÅ ÀºÅ¾»ê¾÷ÈÆÀåÀ» ¹Þ¾Ò´Ù.
¾ÆÁÖ°æÁ¦=À̼ºÁø ±âÀÚ leesj@ajunews.com
<º» ÄÜÅÙÃ÷ÀÇ ÀúÀÛ±Ç ¹× ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ¾ÆÁÖ°æÁ¦(www.ajunews.com)¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, »Ë»Ñ´Â Á¦ÈÞ¸¦ ÅëÇØ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.>