»Ë»Ñ ´º½º
°æÁ¦´º½º ÀÔ´Ï´Ù.
  • ºÏ¸¶Å© ¾ÆÀÌÄÜ
"º½ÀÌ ¿Ô³×¿ä" ÀÌÀç¿ë »ï¼º ȸÀå, À¯·´ ÃâÀå ¸¶Ä¡°í ±Í±¹
´õÆÑÆ® ±â»çÁ¦°ø: 2024-05-03 09:36:01

ÀÚÀ̽º °æ¿µÁø¡¤±³È² ¸¸³­ µÚ ±èÆ÷°øÇ× ÅëÇØ ±Í±¹

À¯·´ ÃâÀåÀ» ¸¶Ä£ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ 3ÀÏ ¿ÀÀü ¼­¿ï °­¼­±¸ ±èÆ÷ºñÁî´Ï½ºÇ×°ø¼¾Å͸¦ ÅëÇØ ±Í±¹Çϸç ÃëÀçÁøÀÇ Áú¹®¿¡ ´äÇÏ°í ÀÖ´Ù. /´º½Ã½º
À¯·´ ÃâÀåÀ» ¸¶Ä£ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ 3ÀÏ ¿ÀÀü ¼­¿ï °­¼­±¸ ±èÆ÷ºñÁî´Ï½ºÇ×°ø¼¾Å͸¦ ÅëÇØ ±Í±¹Çϸç ÃëÀçÁøÀÇ Áú¹®¿¡ ´äÇÏ°í ÀÖ´Ù. /´º½Ã½º

[´õÆÑÆ®¤ÓÀ̼º¶ô ±âÀÚ] ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ ÀÏÁÖÀÏ¿© °£ÀÇ À¯·´ ÃâÀåÀ» ¸¶Ä¡°í 3ÀÏ ¿ÀÀü ¼­¿ï °­¼­±¸ ±èÆ÷ºñÁî´Ï½ºÇ×°ø¼¾ÅÍ(SGBAC)¸¦ ÅëÇØ ±Í±¹Çß´Ù.

ÀÌ È¸ÀåÀº À¯·´ ÃâÀåÀÇ ¼º°ú¸¦ ¹¯´Â ÃëÀçÁøÀ» ÇâÇØ "º½ÀÌ ¿Ô³×¿ä. ¾ÆħºÎÅÍ ³ª¿Í¼­ °í»ýÀÌ ¸¹½À´Ï´Ù"¶ó°í ª°Ô ´äÇÑ µÚ ÇöÀåÀ» ¶°³µ´Ù.

±×´Â À̹ø ÃâÀå¿¡¼­ µ¶ÀÏ°ú ÇÁ¶û½º, ÀÌÅ»¸®¾Æ µîÀ» ¹æ¹®Çß´Ù.

¸ÕÀú Áö³­´Þ 27ÀÏ µ¶ÀÏ ¿À¹öÄÚÇî¿¡ ÀÖ´Â ÀÚÀ̽º(ZEISS) º»»ç¸¦ ã¾Æ Ä® ¶÷ÇÁ·¹È÷Æ® ÃÖ°í°æ¿µÀÚ(CEO) µî °æ¿µÁø°ú ¾ç»ç Çù·Â °­È­ ¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù.

ÀÚÀ̽º´Â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) ±â¼ú °ü·Ã ÇÙ½É Æ¯Ç㸦 2000°³ ÀÌ»ó º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ±Û·Î¹ú ±¤ÇÐ ±â¾÷ÀÌ´Ù. ASMLÀÇ EUV Àåºñ¿¡ žÀçµÇ´Â ±¤ÇÐ ½Ã½ºÅÛÀ» µ¶Á¡ °ø±ÞÇÏ´Â µî '½´ÆÛ À»'·Î ºÒ¸°´Ù.

ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ Áö³­´Þ 27ÀÏ µ¶ÀÏ ¿À¹öÄÚÇî ÀÚÀ̽º(ZEISS) º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇØ ÀÚÀ̽º Á¦Ç°À» »ìÆ캸°í ÀÖ´Ù. /»ï¼ºÀüÀÚ
ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ Áö³­´Þ 27ÀÏ µ¶ÀÏ ¿À¹öÄÚÇî ÀÚÀ̽º(ZEISS) º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇØ ÀÚÀ̽º Á¦Ç°À» »ìÆ캸°í ÀÖ´Ù. /»ï¼ºÀüÀÚ

ÀÌ È¸ÀåÀº ÀÚÀ̽º °æ¿µÁø°ú ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ±â¼ú Æ®·»µå ¹× ¾ç»çÀÇ ÁßÀå±â ±â¼ú ·Îµå¸Ê¿¡ ´ëÇØ ³íÀÇÇßÀ¸¸ç, ÀÚÀ̽ºÀÇ °øÀåÀ» ¹æ¹®ÇØ ÃֽŠ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ°¡¤Àåºñ°¡ »ý»êµÇ´Â ¸ð½ÀÀ» Á÷Á¢ »ìÆìºÃ´Ù.

ÀÌÈÄ ÀÌ È¸ÀåÀº ÇÁ¶û½º, ÀÌÅ»¸®¾Æ µîÀ» ¹æ¹®ÇØ ºñÁî´Ï½º ¹ÌÆðú À¯·´ ½ÃÀå Á¡°Ë, ÁÖÀç¿ø °£´ãȸ µîÀÇ ÀÏÁ¤À» ¼ÒÈ­ÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

ƯÈ÷ ¹ÙƼĭ ½Ã±¹¿¡¼­ ÇÁ¶õÄ¡½ºÄÚ ±³È²À» ¾ËÇöÇß´Ù. ÀÌ È¸ÀåÀÌ ±³È²À» ¸¸³­ °ÍÀº À̹øÀÌ Ã³À½ÀÌ´Ù. ÀÌ È¸ÀåÀº Ä«Å縯 ½ÅÀÚ´Â ¾Æ´ÏÁö¸¸, ±³È²Ã» ¼ºÁ÷ÀںΠÀå°üÀÎ À¯Èï½Ä Ãß±â°æÀÌ °¡±³ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.

rocky@tf.co.kr


<º» ÄÜÅÙÃ÷ÀÇ ÀúÀÛ±Ç ¹× ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ´õÆÑÆ®(www.tf.co.kr)¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, »Ë»Ñ´Â Á¦ÈÞ¸¦ ÅëÇØ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.>
´º½º ½ºÅ©·¦À» Çϸé ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ ¶Ç´Â Á¤Ä¡ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ¿¡ °Ô½Ã±ÛÀÌ µî·ÏµË´Ï´Ù. ½ºÅ©·¦Çϱâ >

0
ÃßõÇϱ⠴ٸ¥ÀÇ°ß 0
|
°øÀ¯¹öÆ°
  • ¾Ë¸² ¿å¼³, »óó ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â ¾ÇÇÃÀº »ï°¡ÁÖ¼¼¿ä.
©¹æ »çÁø  
¡â ÀÌÀü±Û¡ä ´ÙÀ½±Û