»Ë»Ñ ´º½º
°æÁ¦´º½º ÀÔ´Ï´Ù.
  • ºÏ¸¶Å© ¾ÆÀÌÄÜ
¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ, ÄÚ½º´Ú »óÀå º»°ÝÈ­¡¦¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ½ÃÀå¿¡¼­ÀÇ ¼ºÀå ±â´ë
¾ÆÁÖ°æÁ¦ ±â»çÁ¦°ø: 2024-10-29 16:02:26
»çÁø¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ
[»çÁø=¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ]

¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Àü¹®±â¾÷ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ(ISTE)´Â ÄÚ½º´Ú »óÀåÀ» À§ÇÑ Áõ±Ç½Å°í¼­¸¦ Á¦ÃâÇÏ°í º»°ÝÀûÀÎ °ø¸ð ÀýÂ÷¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù°í 29ÀÏ ¹àÇû´Ù.
À̹ø °ø¸ð Áֽļö´Â ÃÑ 160¸¸ ÁÖÀ̸ç, °ø¸ð Èñ¸Á°¡´Â ÁÖ´ç 9700¿ø¿¡¼­ 1¸¸1400¿ø, ÃÑ °ø¸ð±Ý¾×Àº ¾à 155¾ï~182¾ï ¿ø¿¡ ´ÞÇÑ´Ù.
±â°üÅõÀÚÀÚ ´ë»ó ¼ö¿ä¿¹ÃøÀº 11¿ù 15ÀϺÎÅÍ 21ÀϱîÁö, ÀÏ¹Ý Ã»¾àÀº 11¿ù 26ÀÏ°ú 27ÀÏ¿¡ ÁøÇàµÉ ¿¹Á¤À̸ç, »óÀå ÁÖ°ü»ç´Â KBÁõ±ÇÀÌ´Ù.
2013³â¿¡ ¼³¸³µÈ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ÇÙ½É ÀåºñÀÎ ÇöóÁ ±â»ó È­ÇÐ ÁõÂø Àåºñ(PECVD) ¹× DZ Ŭ¸®³Ê(FOUP Cleaner) Àåºñ¸¦ ÁÖ·ÂÀ¸·Î °³¹ßÇØ ¿Ô´Ù.
PECVD Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ Ç¥¸é¿¡ ¾ãÀº ¸·À» Çü¼ºÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» Çϸç, ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â SiCN PECVD Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ¸ç ±â¼ú·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ÇöÀç SKÇÏÀ̴нº µî ÁÖ¿ä °í°´»ç¿¡ ³³Ç°À» À§ÇÑ ¾ç»ê °ËÁõÀ» ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â Àü ¼¼°è¿¡¼­ À¯ÀÏÇÏ°Ô Ç± Ŭ¸®³Ê¸¦ ºÐ¸® ¼¼Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î ¼¼Á¤·Â°ú °øÁ¤ È¿À²À» ³ô¿´´Ù.
Á¶Ã¢Çö ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â “´ç»ç´Â ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÅëÇØ µ¶Ã¢ÀûÀÎ ±â¼ú·ÂÀ» È®º¸ÇßÀ¸¸ç, ºü¸£°Ô ¼ºÀå ÁßÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼­ PECVD¿Í DZ Ŭ¸®³Ê ÀåºñÀÇ ¼¼°èÈ­¸¦ ÀÌ·ç¾î ³ª°¡°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí À̹ø »óÀåÀ» ÅëÇØ È®º¸ÇÑ ÀÚ±ÝÀº ½Å»ç¾÷ÀÎ PECVD Àåºñ °³¹ß°ú »ç¾÷È­¸¦ À§ÇÑ ¿î¿µÀÚ±Ý ¹× ½Å±Ô °øÀå ºÎÁö Ãëµæ¿¡ »ç¿ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

¾ÆÁÖ°æÁ¦=È«½Â¿ì ±âÀÚ hongscoop@ajunews.com

<º» ÄÜÅÙÃ÷ÀÇ ÀúÀÛ±Ç ¹× ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ¾ÆÁÖ°æÁ¦(www.ajunews.com)¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, »Ë»Ñ´Â Á¦ÈÞ¸¦ ÅëÇØ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.>
´º½º ½ºÅ©·¦À» Çϸé ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ ¶Ç´Â Á¤Ä¡ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ¿¡ °Ô½Ã±ÛÀÌ µî·ÏµË´Ï´Ù. ½ºÅ©·¦Çϱâ >

0
ÃßõÇϱ⠴ٸ¥ÀÇ°ß 0
|
  • ¾Ë¸² ¿å¼³, »óó ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â ¾ÇÇÃÀº »ï°¡ÁÖ¼¼¿ä.
©¹æ »çÁø  
¡â ÀÌÀü±Û¡ä ´ÙÀ½±Û