³×´ú¶õµå°¡ 6ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ÀÚ±¹ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷ü ASMLÀÇ ¾×ħ½Ä ½ÉÀڿܼ±(DUV) ³ë±¤Àåºñ 2Á¾ÀÇ ¼öÃâÀ» Á÷Á¢ ÅëÁ¦ÇÏ°Ú´Ù°í ¹àÇû´Ù.
³×´ú¶õµå Åë»óºÎ´Â À̳¯ ¼º¸í¿¡¼ Áß±¹À¸·Î ¾×ħ½Ä ½ÉÀڿܼ± ³ë±¤Àåºñ NXT 1970i¿Í NXT 1980i ¼öÃâÇÒ ¶§ ¹Ì±¹ Á¤ºÎ°¡ ¾Æ´Ñ ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ¿¡ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ¹Þ¾Æ¾ß ÇÑ´Ù°í ÀüÇß´Ù. ±¹°¡¾Èº¸¸¦ ÀÌÀ¯·Î ÀÌ°°ÀÌ °áÁ¤Çß°í, º¯°æµÈ ¼öÃâÅëÁ¦ ±ÔÁ¤Àº 7ÀϺÎÅÍ Àû¿ëµÈ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø Á¶Ã³´Â ¹Ì±¹ÀÇ °ÅµìµÈ ´ëÁß ¼öÃâÅëÁ¦ È®´ë ¾Ð¹Ú¿¡ µ¿ÂüÇϱâ·Î ÇÑ °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ. ¹Ì±¹Àº ÀÚüÀûÀ¸·Î µÎ DUV ÀåºñÀÇ ´ëÁß ¼öÃâÀ» Á¦ÇÑÇØ ¿Ô°í, ³×´ú¶õµå´Â ÃÖ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ µî¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâÀº ÀÌ¹Ì ÅëÁ¦ÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
Àü¿µÁÖ ±âÀÚ ange@asiae.co.kr <¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö> |