반도체 국가핵심기술 유출을 시도한 혐의로 전직 삼성전자 엔지니어 등 2명이 구속기소 됐다. 수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사 박경택)는 산업기술보호법 위반, 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 삼성전자 엔지니어 출신의 중국계 A회사 대표 B씨와 설계팀장 등 2명을 구속기소 했다고 19일 밝혔다. 또 범행에 공모한 A사 직원 등 9명과 법인 3곳을 불구속기소 했다. B씨 등은 2021년 10월부터 지난해 4월까지 삼성전자 자회사인 C회사 출신 퇴사자로부터 세정장비 챔버부(장비 내에 구성된 세정작업이 실제로 진행되는 부분) 도면을 구한 다음 그 도면을 기초로 새로운 수출용 세정장비 챔버부를 제작한 혐의를 받는다. 이들은 국가핵심기술을 도용해 제작한 반도체 세정장비를 중국기업에 수출하려고 한 혐의를 받는다. 또 C사의 세정장비 이송로봇 도면을 도용해 새로운 수출용 로봇을 설계 제작하거나 삼성전자의 세정공정 레시피(장비 구동 세부 절차와 방법을 정리한 문서)를 활용해 새로운 레시피를 작성한 혐의도 받는다. 반도체 세정기술은 반도체 제조 과정에서 발생하는 머리카락의 1만분의 1 굵기의 이물질을 반도체 훼손 없이 완벽하고 정밀하게 제거하는 초고난도 기술이다. B씨 등이 유출·부정 사용한 기술 자료 중 세정공정 관련 자료(레시피)는 산업부로부터 ‘국가핵심기술’로, 설계도면은 ‘첨단기술’로 지정됐다. 지난해 1월 국가정보원 산업기밀보호센터로부터 정보를 받아 수사에 착수한 검찰은 같은 해 4월 A사 등을 압수 수색을 하고 11월 A사 설계팀장을 구속 기소한 데 이어 최근 주범인 B씨를 구속기소 했다. 수사 결과 B씨는 2018년 삼성전자 등에 근무한 엔지니어들을 순차로 영입해 세정장비 관련 사업을 목적으로 한 업체를 설립한 뒤, 중국 반도체 장비업체의 직접 투자를 받기로 하고 자신이 설립한 업체의 인력과 기술을 중국 업체 국내 법인에 78억2000만원을 받고 양도한 것으로 파악됐다. B씨는 중국 업체를 위한 세정장비를 개발하기로 계약하고 국내 반도체 업체들의 기술 자료를 불법 수집했으며, 이를 바탕으로 세정장비 개발을 주도한 것으로 조사됐다. 이들은 “세정장비를 자체 개발했다”며 범행을 부인했으나, 검찰이 새롭게 개발한 포렌식 기법으로 A사 자료에 남겨진 '디지털 지문'이 확인되면서 삼성전자 등의 기술이 도용된 사실이 밝혀졌다. 수원=오상도 기자 sdoh@segye.com
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